Eagle III XXL
Das Eagle III µ-Probe ist in verschiedenen Konfigurationen verfügbar.
Parameter
| Parameter | Eagle III | Eagle XPL | Eagle XXL |
|---|---|---|---|
| Probenkammergröße | Durchm. 330 mm x 350 mm | Durchm. 330 mm x 350 mm | 650 x 650 x 650 mm |
| max. Probengröße | 200 x 200 x 100 mm | 200 x 200 x 100 mm | 500 x 500 x 250 mm |
| erfassbare. Probenfläche | 200 x 200 x 100 mm | 200 x 200 x 100 mm | 500 x 500 x 250 mm |
| min. Schrittweite | 10 µm | 5 µm | 10 µm |
| Messmedium | Vakuum, Luft | Vakuum, Luft | Vakuum, Luft |
| Anregung | Mikro-Fokus-Seitfensterröhre, Rh-Anode (Mo, Cr, W optional) | ||
| 40 kV (50 kV optional), 1 mA | |||
| Kapillaroptik | Monokapillare | Poly-Kapillar-Linse | Monokapillare oder Poly-Kapillar-Linse |
| Spotgröße | 300 µm | 30 µm oder Linse mit Varispot 20-500 µm | |
| Video-Mikoskop | Kamera 1:20 x 20 mm | Kamera 1:20 x 20 mm | abhängig von Kapillaroptik |
| Sichtfelder | Kamera 2:2 x 2 mm | Kamera 2:1 x 1 mm | |
| Detektor | Si(Li), 80 mm², ΔE < 150 eV für Mn-Kα |
Si(Li), 30 mm², ΔE < 135 eV für Mn-Kα |
Si(Li), Fläche abhängig von Kapillaroptik |
| Elektronik | atenerfassungsmodul EDAM III für hohen Impulsdurchsatz 8 Formungszeiten, PCI-Bus Verlängerung |
||
| Workstation | WINDOWS XP basiert, EDAM III integriert durch PCI-Bus | ||
| Software | Umfangreiche Software zur Gerätesteuerung, zur qualitativen und quantitativen Analyse sowie zur Reporterstellung | ||
Das Konzept des Spektrometers erfolgte mit folgenden Zielstellungen:
- Große Probenkammer für die Analyse auch größerer Proben
- Konzentration der anregenden Strahlung auf Flächen mit Durchm. 300 µm (Monokapillaren) bzw. Durchm. 20 µm (Polykapillar-Linsen) für MoK-Strahlung
- Variation der Spotgröße zwischen 30 und 500 µm mit einer VariSpot-Einheit
- Probenbeobachtung mit Hilfe von zwei Farbkameras (beobachtete Probenfläche 20 x 20 mm und 1.5 x 1.5 mm)
- Genaue Probenpositionierung mittels schrittmotorgetriebenen X-Y-Z-Tisch mit einer Schrittweite von 1.5 µm
- Evakuierung mittels ölfreier Membranpumpe
Einsatz leistungsfähiger Technik
Beim Aufbau des Gerätes wird die bekannt leistungsfähige und zuverlässige Technik eingesetzt. Dazu zählt:
- LEAP+-Detektoren mit bester Energieauflösung, sensitive Fläche 30 mm² oder 80 mm² mit Energieauflösungen von < 135 eV bzw. 150 eV (für MnK)
- Zeitvariante Pulsverarbeitung mit höchstem Durchsatz, Pulsformung mit 8 Zeitkonstanten
- Genesis Systeme für qualitative und quantitative Analyse
- Betriebssystem auf WINDOWSTM–Basis (XP)
- Vision Programmsystem für die Gerätesteuerung, Spektrenerfassung und Spektrenauswertung
- Quantifizierung über standardfreie und standardgebundene Modelle
Gerätesteuerung durch modernste PC-Technologie
Die Gerätesteuerung erfolgt über modernste Rechentechnik. Neben dem WINDOWS XP-Betriebssystem und dem Spektrometerprogramm gehört auch ein WINDOWS-Office Paket zum Lieferumfang, um die Reporterstellung durch dessen Leistungen zu unterstützen.