Für den Eagle steht eine umfangreiche Software zur Gerätesteuerung
und Auswertung sowie Präsentation der Meßergebnisse zur Verfügung.
Als
Betriebssystem wird WINDOWS 2000 oder WINDOWS XP (ab Eagle III)
verwendet. Das gewährleistet Zuverlässigkeit beim Betrieb der Geräte,
aber auch eine hohe Akzeptanz und Bedienfreundlichkeit beim Nutzer, da
diese Betriebsysteme sehr häufig genutzt werden und damit auch alle
anderen Microsoftprodukte, wie MS Word, MS Excel oder MS PowerPoint zur
Verfügung stehen.
Für die Gerätesteuerung können verschiedene Programmpakete genutzt werden.
Vision32
Mit
dem Pogrammpaket Vision 32 wird der Eagle gesteuert. Vision arbeitet
mit einer graphischen Benutzeroberfläche und verwendet dabei Elemente,
die von WINDOWS bekannt sind. Damit ist eine einfache und intuitive
Bedienung gegeben.
Mit Vision werden die Geräteparameter
eingestellt und überprüft, werden die Spektren gemessen und
aufbereitet, sowie Quantifizierungen vorgenommen und präsentiert.
Für
die Darstellung der Meßergebnisse ist es möglich, alles was auf dem
Bildschirm angezeigt wird – also z.B. Spektren, Probenabbildungen,
Ergebnistabellen, Elementverteilungen direkt zu drucken.
Es ist aber auch möglich alle diese Ergebnisse über die Zwischenablage in WINDOWS-Applikationen zu kopieren und dort weiter zu verarbeiten.
Um die Möglichkeiten der Mikro-Analytik nutzen zu können, erfolgt
die Einstellung der Meßpunkte über einen X-Y-Z-Tisch. Die
Probenposition kann dabei mit Hilfe von Video-Kameras beobachtet
werden. Meßpunkte können als einzelne Messpunkte, aber auch als
Mehrfachmeßpunkte auf Linien oder in Matrizes abgespeichert werden.
Die
Spektrenauswertung beginnt mit der Identifizierung der einzelnen
Elemente sowie von Linienartefakten. Die nachfolgende Quantifizierung
kann dann auf der Basis von standardfreien oder standardgebundenen
Modellen für Volumenproben sowie auf der Basis von standardgebundenen
Modellen für Schichtstrukturen erfolgen.
Vision-Optionen
Mit einigen Optionen kann die Leistungsfähigkeit des Eagle insbesondere für die Erfassung von Elementverteilungen noch verbessert werden.
LineScan
Mit
dem LineScan ist die Erfassung von Elementverteilungen auf einer Linie
möglich. Für eine Anzahl vorgegebener Elemente werden auf den
äquidistanten Punkten einer Linie die Intensitäten gemessen. Damit ist
die Erfassung von Konzentrationsprofilen möglich.
EagleMapping
Mit
diesem Programmpaket ist die Messung der Verteilung von Intensitäten
auf einer Fläche möglich. Durch das SpectralMapping können für alle
Meßpunkte die kompletten Spektren gespeichert werden. Dadurch wird auch
eine spätere Aufbereitung der Meßdaten möglich – etwa durch die
Berechnung von Verteilungen für weitere Elemente, durch die Berechnung
von Summenspektren von beliebigen Probenbereichen oder durch die
Berechnung von LineScan-Verteilungen. Damit ist eine hohe Flexibilität
für die Datenevaluation gegeben.
Eagle-Image
Elementverteilungen
können mit Image-Processing Algorithmen bearbeitet werden. Dazu gehören
Operationen wie lineare Bildoperationen (Addition, Subtraktion,
Multiplikation, Division), die Nutzung unterschiedlicher
Darstellungsarten (Grauskale, Thermoskalierung, Pseudofarben,
logarithmische Skalierung), die Veränderung der Gradationskurve, die
Kontrastverbesserung, die Bestimmung von Flächenanteilen mit einem
bestimmten Intensitätsbereich, die Berechnung von Distanzen in den
Bildern usw.
Coatmaster
Bestimmung von Schichtparametern wie Schichtdicke und Schichtzusammensetzung von Schichtsystemen bis zu 5 Schichten. Über den FunMaster werden die erforderlichen Daten für diese Applikationen zusammengestellt. Mit der Programmerweiterung CoatMaster können dann die Schichtparameter bestimmt werden.
Siehe auch Software FUN-MasteR