| HV-Generator | 40 kV (50 kV), 1 mA programmierbar |
| Röntgenröhre |
Mikrofokus, Be-Seitfensterröhre, Spotgröße 80 x 80 µm, luftgekühlt |
| Anodenmaterial |
Rh (optional Mo, W) |
| Röntgenoptiken |
Monokapillaren (300 µm) oder Polykapillar-Linse (20 µm bis 40 µm) Variation der Spotgröße mit VariSpot zwischen 30 µm bis 400 µm |
| Detektor |
Si(Li) mit 30 bzw. 80 mm2, Energieauflösung < 135 eV bzw. 150 eV |
| Probenkammer |
Ø 330 mm x 350 mm (Optional 700 x 700 x 700 mm in XXL), evakuierbar |
| Elementbereich |
Na (Vakuum) bzw. P (Luft) bis U |
| Probenpositionierung |
über schrittmotorgetriebenen X-Y-Z-Tisch, Schrittweite 1.5 µm, kontrolliert über Maus |
| max. Tischbewegung |
100 x 100 x 100 mm, (optional 300 x 300 x 300 mm in XXL) |
| Probenbeobachtung |
zwei Farbkamerasysteme mit beobachteter Probenfläche von 20 x 20 mm bzw. 1.5 x 1.5 mm, elektronischer Zoom (Faktor 2) |
| Strahlenschutz |
Gerät entspricht einem Vollschutzgerät gemäß Röntgenverordnung |
| Spektrometerdimension | H: 600 mm, B: 700 mm, T: 400 mm |
| Gerätekonfiguration |
Spektrometer, Analogelektronik, PC, Vakuumpumpe |
| PC / Netzanschluß |
modernste Technologie mit neuesten Parametern / 115 V / 230 V / 50 Hz / 60 Hz |
| Software |
WINDOWS 2000 oder WINDOWS XP |
| Vision |
Spektrometerprogramm für die Gerätesteuerung, Spektrenerfassung und -auswertung |
| Probentischsteuerung |
für Messungen von Einzelpunkten, Mehrfachpunkten, lineare und flächenhafte Elementverteilungen |
| Quantifizierung |
standardfrei (typ. Fehler ca. 1 – 2 %) oder standardgebunden (typ. Fehler ca. 0.2 – 0.5 %), Schichtdicke und -zusammensetzung |
| Eagle Imaging |
Bildauswerteprogramme für Elementverteilungen |
Änderungen, die dem technischen Fortschritt dienen, vorbehalten
Produktbeschreibung
| EagleIII.pdf |
